Lam Research 科林研發推出 Lam Cryo 3.0 低溫蝕刻技術，加速 3D NAND 在人工智慧時代的微縮

ITMan!資訊新聞 ITMan!資訊經理人 PCDIY!業界新聞

Lam Research 科林研發推出 Lam Cryo 3.0 低溫蝕刻技術，加速 3D NAND 在人工智慧時代的微縮

文．圖／陳信榮 2024-08-06 13:21:57

Lam Research 科林研發（那斯達克股票代號：LRCX）推出了 Lam Cryo 3.0，這是該公司經過生產驗證的第三代低溫介電層蝕刻技術，擴大了在 3D NAND 快閃記憶體蝕刻領域的領先地位。隨著生成式人工智慧（AI）的普及不斷推動更大容量和更高效能記憶體的需求，Lam Cryo 3.0 為未來先進 3D NAND 的製造提供了至關重要的蝕刻能力。Lam Cryo 3.0 利用超低溫、高功率侷限電漿反應器技術和創新的表面化學製程，以業界領先的精度和輪廓控制進行蝕刻。

「Lam Cryo 3.0 為客戶邁向 1,000 層 3D NAND 奠定基礎，」科林研發全球產品事業群資深副總裁 Sesha Varadarajan 說。「我們已經使用科林研發低溫蝕刻製造了五百萬片晶圓，這項最新技術是 3D NAND 生產領域的突破。它以埃米級精度建立高深寬比（HAR）特徵，同時對環境造成更低的影響，且蝕刻速率是傳統介電層製程的兩倍以上。Lam Cryo 3.0 是我們的客戶在人工智慧時代突破 NAND 關鍵製造挑戰所需的蝕刻技術。」

迄今為止，3D NAND 主要透過儲存單元的垂直層堆疊取得進展，這是透過蝕刻深而窄的 HAR 儲存通道實現的。蝕刻輪廓的極小原子級誤差可能會對晶片的電效能產生負面影響，並可能影響良率。經過最佳化的 Lam Cryo 3.0，可解決上述提及和其他微縮方面的蝕刻挑戰。

「人工智慧正在推升雲端和邊緣的快閃記憶體容量和效能的大量需求。促使晶片製造商擴大 NAND 快閃記憶體的規模，力爭在 2030 年底前實現 1,000 層 3D NAND。」Counterpoint Research 聯合創辦人暨研究副總裁 Neil Shah 表示。「Lam Cryo 3.0 低溫蝕刻技術是突破傳統技術的大躍進。它以近乎完美的精度和控制來蝕刻深寬比 50 倍以上的儲存通道，實現小於 0.1% 的蝕刻輪廓誤差。這一突破顯著提高了先進 3D NAND 的良率和整體效能，使晶片製造商能夠在人工智慧時代保持良好的競爭力。」

業界最先進的低溫蝕刻技術

Lam Cryo 3.0 利用該公司獨特的高功率侷限電漿反應器、製程改善和遠低於 -0oC 的溫度，從而利用新型蝕刻化學製程。與科林研發最新的 Vantex® 介電層系統的可擴展脈衝電漿技術結合時，蝕刻深度和輪廓控制顯著增加。使用 Lam Cryo 3.0 技術，3D NAND 製造商可以蝕刻深度高達 10 微米的儲存通道，從頂部到底部的關鍵尺寸誤差*小於 0.1%。

其他亮點包括：
• 卓越的生產力：與傳統介電層製程相比，Lam Cryo 3.0 的蝕刻速度提高了兩倍半，具有更好的每片晶圓再現性，幫助 3D NAND 製造商以更低的成本實現高良率。
• 更強的永續性：與傳統蝕刻製程相比，Lam Cryo 使每片晶圓的耗能降低 40%，且降低碳排放量高達 90%。**
• 最大化設備投資：為了實現最佳輪廓控制和最快、最深的介電層蝕刻，Lam Cryo 3.0 可以整合到科林研發最新的 Vantex 系統中。它還與該公司的 Flex® HAR 介電層蝕刻產品組合相容，目前主要記憶體製造商均使用該產品進行大規模的 3D NAND 生產。

領先的 3D NAND 介電層蝕刻

Lam Cryo 3.0 進一步鞏固了該公司在晶圓製造蝕刻技術領域長達二十年的領先地位，其中包括七代 3D NAND。科林研發於 2019 年將全球首款低溫蝕刻產品投入量產。如今，在 NAND 生產中使用的超過 7,500 個科林研發 HAR 介電層蝕刻腔體中，已有近 1,000 個使用低溫蝕刻技術。

Lam Cryo 3.0 現以提供領先的記憶體製造商使用。它是科林研發用於 3D NAND 製造的廣泛蝕刻、沉積和清洗解決方案組合的最新成員。欲瞭解有關 Lam Cryo 3.0 的更多資訊，請瀏覽https://www.lamresearch.com/products/our-solutions/cryogenic-etching/。

→更多的【PCDIY!業界新聞】：請見

→更多的【PCDIY!賣場情報】：請見

→更多的【PCDIY!科技情報】：請見

→更多的【IT資訊新聞】：請見

→更多的【ITMan!資訊經理人】：請見

→更多的【PCDIY!八卦】：請見

延伸閱讀

資料很貴的！叫你備份不聽！你知道硬碟故障資料救援：「救個資料，報價『3萬8』嗎？」

「黑心電源供應器」大爆發！大家可要小心一點阿！太恐怖了啦!!!

什麼！硬碟大廠Seagate，最新的行銷活動廣告，裡面居然出現：「我也不想當『死雞』隊友啊.................」

電腦展的話，不少人是醉翁之意不在酒，不是去看電腦展，而是去看妹展的！到底看妹，是要怎麼看呢？

磁碟陣列要選RAID 5還是RAID 6？有需要再用Hot spare嗎？這是一個好問題！

硬碟世界最「狂」記錄：「威騰WD RE 3TB硬碟驚爆鬧機瘟，48顆就壞25顆，死亡率高達52.08%...................」

什麼終身保固？網友說：「覺得被騙了！」終身保固≠終身換新≠終生免費，你覺得呢？

淘寶網帶來的跨境電商價格戰，對光華商場來說，是新危機？還是新轉機？

珍惜生命，遠離(成為)工具人

這邊有批8核心16執行緒CPU好便宜啊!!!

硬碟故障資料救援，等了一年八個月...

隨著香港電訊、日本So-net寬頻上網業者，陸續提供10G光纖上網，讓玩家與專業用戶享受高速上網的極速快感。反觀我們台灣，中華電信HiNet還在供裝光世代500M/250M與光世代1G/600M，可以說：「人家都上太空，我們還在殺豬公!!!」

高雄建國電腦商場，周圍稱為建國電腦商圈、建國3C商圈，爆發了倒店潮。網友議論紛紛，有的玩家認為跟原價屋有關，認為原價屋是殺手，真的是這樣嗎？

這個店家，讓各地店員嗆不爽去台北買這句話，從此走入歷史！

批踢踢實業坊PTT，這幾天有個網友PO文：「[請益] 約200T的貯存方案(預算10W～20W)」

高科技竹筷來啦！

SSD熱賣，玩家的最終看法：「用過，就回不去了！」

DDR4記憶體金手指歪掉惹..................

中國來的「360安全衛士防毒軟體」，「360安全卫士」這次獲得教授認證了！教授認證的「神防毒軟體」，這到底是「教授級防毒軟體」，還是防毒軟體是「會叫的野獸？」

電腦機殼破萬，是在搞什麼東西呢？

硬碟容量那麼大，玩家與專業用戶都在存什麼東西呢？原來答案是：「硬碟就是要裝謎片阿不然要幹嘛！」

什麼？Windows XP作業系統，還有老玩家在用呀！沒錯，真的是令人驚呆了！而且，這些玩家，宣稱：「打死不退、寧死不屈」，堅信：「再戰十年」

更多焦點

發表您的看法: 請勿張貼任何涉及冒名、人身攻擊、情緒謾罵、或內容涉及非法的言論。; 請勿張貼任何帶有商業或宣傳、廣告用途的垃圾內容及連結。; 請勿侵犯個人隱私權，將他人資料公開張貼在留言版內。; 請勿重複留言（包括跨版重複留言）或發表與各文章主題無關的文章。; 請勿張貼涉及未經證實或明顯傷害個人名譽或企業形象聲譽的文章。; 您在留言版發表的內容需自負言論之法律責任，所有言論不代表PCDIY!雜誌立場，違反上述規定之留言，PCDIY!雜誌有權逕行刪除您的留言。

焦點

Lam Research 科林研發推出 Lam Cryo 3.0 低溫蝕刻技術，加速 3D NAND 在人工智慧時代的微縮

業界最先進的低溫蝕刻技術

領先的 3D NAND 介電層蝕刻

延伸閱讀

最近新增

最多人點閱